石英加工技术

我国高纯石英加工技术现状与发展建议 CHINA TECHNOLOGIES PRESENT OF HIGH

CHINA TECHNOLOGIES PRESENT OF HIGH-PURITY QUARTZ PROCESSING AND THE DEVELOPMENT PROPOSITIONS 高纯石英是晶硅、石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在新能源和新材料等战略性新兴产业具有重要的地位和作用.为了促进我国高纯石英技术发展,介绍了高纯石英的一般概念及其主要品种,并在评述我国高纯石英加工技术现状基础上,针对存在的主要问题,提出加强我国高纯石英矿物资源地质勘查工作、矿物学应用基础研究、提纯加工技术与装备研究、产品质量标准和检测技术研究等具体建议. 成都理工大学材料与化学化工学院,四川成都610059;成都理工大学金刚石薄膜研究所,四川成都 610059 成都理工大学材料与化学化工学院,四川成都,610059 国家公益性行业科研专项经费项目课题，国家自然科学基金，国家教育部高等学校博士点基金，国家人事部留学人员科技活动择优基金 高纯石英是晶硅、石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在新能源和新材料等战略性新兴产业具有重要的地位和作用.为了促进我国高纯石英技术发展,介绍了高纯石英的一般概念及其主要品种,并在评述我国高纯石英加工 参考文献和引证文献 邮箱[email protected] 客服电话4000-115-888 8:00-11:30,13:00-17:00(工作日) 彭长屏 秦水介 摘要：本文主要介绍用激光诱导等离子体加工法(LIPAA)在高纯度的石英上加工出微米量级的通道,以及加工过程中激光参数对通道成型和通道质量的影响．激光加工法的优点在于不污染加工材料,加工能力很强且快速,加工方式多样等．激光诱导等离子体加工法的原理是利用高能量密度的激光束照射材料表面,材料表面被汽化同时离子化,进而形成等离子体,具有极高温度的离子体便用来加工材料．由于石英的高耐腐蚀,高硬度,高透光性使得传统的加工工艺难以达到我们的期望,而激光诱导等离子体加工法很好的克服了以上困难． 作者单位：贵州大学光电子技术及应用重点实验室 贵州大学光电子技术及应用重点实验室 分类号：TN249正文快照： 本文研究了激光参数与加工速率的关系，解决了通道壁有毛刺不光滑的问题，提高了石英微通道的 深宽比、在一定的深度内加工的脉冲数与加工的通道深度呈近似的线性关系;激光的功率密度与微通道 的加工速率呈线性关系;等离子体的持续时间对微通道的影响，激光加工石英微通道技 安建祝;滕亚钢;肖小平;;激光加工石油筛管工艺[A];中国工程物理研究院科技年报（1998）[C];1998年 李彦文;滕亚钢;柳进转;;钢壳体外表面激光刻槽工艺[A];中国工程物理研究院科技年报（1998）[C];1998年 狄锦如;;电火花精密加工技术[A];第五届全国电加工学术年会论文集（电火花成型加工篇）[C];1986年 俞斌伟;;单叶双曲线切割加工[A];第五届全国电加工学术年会论文集（线切割加工篇）[C];1986年 陈传梁;;大功率CO_2激光切割技术的发展[A];第五届全国电加工学术年会论文集（特种加工篇与综合性论文篇）[C];1986年 张梓华;;金属的激光切割精度与断口质量形成分析[A];第五届全国电加工学术年会论文集（特种加工篇与综合性论文篇）[C];1986年 周锦进;赵福令;亢羽;;激光加工表面层特性的试验研究[A];第五届全国电加工学术年会论文集（特种加工篇与综合性论文篇）[C];1986年 周锦进;王续跃;胡明文;徐中耀;;激光束能量时空特性的试验研究[A];第六届全国电加工学术年会论文集[C];1989年 1. 同济大学 精密光学工程技术研究所， 上海 200092; 2. 同济大学 航空航天与力学学院， 上海 200092; 3. 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室， 天津 300192 Fabrication and detection technique of fused silica substrate with extremely low subsurface damage Ma Bin1,2,3, Shen Zhengxiang1,3, Zhang Zhong1, He Pengfei2, Ji Yiqin3, Liu Huasong1,3, Liu Dandan3, Wang Zhanshan1 1. Institute of Precision Optical Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China; 2. School of Aerospace Engineering and Applied Mechanics, Tongji University, Shanghai 200092, China; 3. Tianjin Key Laboratory of Optical Thin Films, Tianjin Jinhang Institute of Technical Physics, Tianjin 300192, China 摘要制备低亚表面损伤的超光滑光学基底，是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异，首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术，对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测，讨论了缺陷尺寸与散射信号强度、磨料粒径与损伤层深度间的对应关系；同时，采用化学腐蚀处理技术对抛光后样品的亚表面形貌进行了刻蚀研究，分析了化学反应生成物和亚表面缺陷对刻蚀速率的影响、不同深度下亚表面缺陷的分布特征，以及均方根粗糙度与刻蚀深度间的联系。根据各道加工工艺的不同采用了相应的亚表面检测技术，由此来确定下一道加工工序,合理的去除深度，最终获得了极低亚表面损伤的超光滑光学基底。Abstract： The supersmooth optical substrate with extremely low subsurface damage is essential to obtain high laser damage threshold films. In view of the difference in subsurface morphology, the laser confocal microscope technique combined with light scattering method is firstly used to detect the subsurface defects of fused silica substrates ground by brand W10 and W5 SiC abrasive particles, and the relation between the defects size and the scattering intensity are discussed. Then chemical etching method is introduced to expose the inner features at arbitrary depth for the polished sample, the influences of chemical resultant and redeposition layer on etching rate are analyzed, and the distribution and depth of damage layer are estimated. Furthermore, the relation between RMS roughness and etching .低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术[J] 强激光与粒子束, 2010,V22(09): 0-0 Zhang Zhong等 .Fabrication and detection technique of fused silica substrate with extremely low subsurface damage[J] High Power Laser and Particle Beams, 2010,V22(09): 0-0 本站经营各种技术，致富项目等，网址： QQ：362303563 电话：13503163316 致富网期待您的光临！并以优质的服务保证您的满意哦！1、技术也可以单项或者部分项目购买，单项技术，每一项收费50元（网传价）。购两项赠送一项。2、这里是技术资料，不是实物产品，请注意哦！3、本店提供定制服务。把您想要的信息关键词提供给我们如“火锅”“脱发”“美容”..等，我们给您检索出相关的所有，价格另行商议。

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石英微机械惯性传感器的加工技术 - 其它资料

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巨型石英钟39-SIPO-208031 电拨针石英钟40-SIPO-208031 光控打点报时石英钟41-SIPO-208031 键盘式宽时域定时、记忆石英钟42-SIPO-208031 口哨声控石英钟照明装置43-SIPO-208031 营业室用八历石英钟44-SIPO-208031 智能石英钟45-SIPO-208031 石英钟控摸拟同步交流塔钟46-SIPO-208031 国际时石英钟47-SIPO-208031 夜光石英钟48-SIPO-208031 声光双控照明电子石英钟49-SIPO-208031 多功能石英钟表检测仪50-SIPO-208031 程控定时、照明石英钟51-SIPO-208031 多功能石英钟52-SIPO-208031 壁灯型石英钟53-SIPO-208031 声控照明电子石英钟54-SIPO-208031 石英钟55-SIPO-208031 高级工艺石英钟56-SIPO-208031 一种电脑石英钟57-SIPO-208031 改进型石英钟模拟日照规律的自动开关58-SIPO-208031 带日历(星期)的新型石英钟59-SIPO-208031 日月地球石英钟60-SIPO-208031 石英钟机芯61-SIPO-208031 用双石英钟机芯驱动的走纸机构62-SIPO-208031 一种装有LED的石英钟63-SIPO-208031 工艺数显石英钟64-SIPO-208031 电光数字石英钟65-SIPO-208031 可编程双显示石英钟66-SIPO-208031 石英钟发光显示表盘67-SIPO-208031 多功能电子石英钟68-SIPO-208031 单机芯双面石英钟69-SIPO-208031 一种石英钟70-SIPO-208031 大型石英钟步进电机定子线圈的固定装置71-SIPO-208031 陶瓷工艺石英钟72-SIPO-208031 附加在指针式石英钟上的数字显示器73-SIPO-208031 石英钟表秒动显示装置74-SIPO-208031 三历石英钟75-SIPO-208031 石英钟表检修器76-SIPO-208031 石英钟遥控校时装置77-SIPO-208031 石英钟可编程多路时控器78-SIPO-208031 双面图案工艺石英钟79-SIPO-208031 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一种指针式石英钟表120-SIPO-208031 一种石英钟转动装置的驱动机构121-SIPO-208031 有星期指示的指针石英钟表122-SIPO-208031 石英钟的分针套123-SIPO-208031 自编程序定闹石英钟124-SIPO-208031 钟面上带有活动件窗口的石英钟125-SIPO-208031 一种改进的石英钟机芯126-SIPO-208031 具定子辅助固定构造的石英钟机心127-SIPO-208031 石英钟摆杆摇摆装置128-SIPO-208031 石英钟机芯定子129-SIPO-208031 二齿传动的石英钟扫秒机芯130-SIPO-208031 周秒制电器时控石英钟131-SIPO-208031 石英钟机芯自动闹开关装置132-SIPO-208031 一种改进的圆形石英钟机芯133-SIPO-208031 一种微型的带摇摆杆的石英钟机芯134-SIPO-208031 一种连续运针电子石英钟电动机135-SIPO-208031 石英钟机芯136-SIPO-208031 一种新型石英钟机芯137-SIPO-208031 光标石英钟表138-SIPO-208031 带饰扣的塑料外壳石英钟139-SIPO-208031 石英钟机心140-SIPO-208031 一种石英钟安装卡盘141-SIPO-208031 一种改进的薄型石英钟机芯142-SIPO-208031 石英钟表中电气金属件的预应力搭接143-SIPO-208031 石英钟表控闹装置144-SIPO-208031 石英钟145-SIPO-208031 带闹盘对闹装置的石英钟146-SIPO-208031 扫描石英钟表机芯的改良147-SIPO-208031 超薄型石英钟日历机芯148-SIPO-208031 光模拟指针式电子石英钟149-SIPO-208031 一种微型石英钟机芯拨针装置150-SIPO-208031 一种石英钟用步进电机151-SIPO-208031 石英钟全自动翻跳显示日历装置152-SIPO-208031 新型长三针石英钟表的机芯153-SIPO-208031 带摆的响闹石英钟机芯154-SIPO-208031 可折叠的多功能石英钟155-SIPO-208031 一种石英钟表结构的改良156-SIPO-208031 二十四小时行针式石英钟机芯157-SIPO-208031 带有新型日期、星期显示器的石英钟机芯158-SIPO-208031 动感画钟面石英钟159-SIPO-208031 指针式电脑日历石英钟160-SIPO-208031 一种石英钟月相显示装置161-SIPO-208031 一种石英钟定闹设置机构162-SIPO-208031 二十四小时定闹石英钟机芯163-SIPO-208031 一种用钮扣电池石英钟的正、负极片固定结构164-SIPO-208031 石英钟全自动翻跳显示日历装置165-SIPO-208031 单触点式自动闹石英钟机心166-SIPO-208031 具有机械式日历和报闹机构的石英钟机芯167-SIPO-208031 内置响铃机构石英钟机心168-SIPO-208031 一种石英钟的电机定子片169-SIPO-208031 石英钟不间断电源170-SIPO-208031 石英钟机芯回转装置171-SIPO-208031 石英钟机芯固定装置172-SIPO-208031 石英钟共享机芯173-SIPO-208031 自动翻牌式万年历石英钟174-SIPO-208031 具有闪烁式秒显示的两针石英钟、表175-SIPO-208031 一种石英钟中心螺管176-SIPO-208031 一种带有日月星辰结构的石英钟机芯177-SIPO-208031 带有电子石英钟的文具盒178-SIPO-208031 快节奏指针式石英钟、表179-SIPO-208031 一种用于连接石英钟的指针和机芯轴的连接套180-SIPO-208031 一种带数码信息历的石英钟181-SIPO-208031 一种利用传呼机进行校正的石英钟182-SIPO-208031 自动石英钟步进电机183-SIPO-208031 一种石英钟机芯固定装置184-SIPO-208031 一种小型石英钟的机芯185-SIPO-208031 钟针具有显示效果的石英钟186-SIPO-208031 动画石英钟187-SIPO-208031 石英钟表用太阳能电池装置188-SIPO-208031 电子摆落地石英钟189-SIPO-208031 一种石英钟/表的分针轮190-SIPO-208031 一种石英钟/表的机芯结构191-SIPO-208031 一种石英钟192-SIPO-208031 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“大规模集成电路产业用8英寸立式石英笼舟加工技术”科技成果鉴定结果公示

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