单晶石英坩埚喷涂设备

石英坩埚小结_百度文库

举报文档单晶拉晶 多晶铸锭辅助设备明细表扬州百盛新能源科技有限公司是专业从事太阳能光伏、风电等新能源领域辅助加工设备的研发制造及对外精细加工的综合性企业。公司业务范围涵盖了单/多晶硅切割、太阳能电池、电池组件、风电等辅助加工设备和电热电器,工业自动化控制更多 扬州百盛新能源科技有限公司是专业从事太阳能光伏、风电等新能源领域辅助加工设备的研发制造及对外精细加工的综合性企业。公司业务范围涵盖了单/多晶硅切割、太阳能电池、电池组件、风电等辅助加工设备和电热电器,工业自动化控制等领域。隐藏 扬州百盛新能源科技有限公司铸锭辅助设备明细表 拉晶 铸锭辅助设备明细表线开方切割辅助设备明细： 一、线开方切割辅助设备明细： 适用于以下机型----单晶硅拉晶炉 多晶硅铸锭炉 拉晶炉， 适用于以下机型----单晶硅拉晶炉，多晶硅铸锭炉001 001、单晶拉制炉北京京运通： 北京京运通：JRDL-800/JRDL-900CCD 型单晶炉 常州华盛天龙： 常州华盛天龙：DRF-50 单晶硅生长炉、DRF95 直拉式硅单晶炉 上海汉虹： 上海汉虹：FT-CZ2008A FT-CZ2208AE FT-CZ2208A 北京京仪世纪： 北京京仪世纪：MCZ-6000HB/MCZ-6000A/MCZ-6000K 型单晶炉 西安理工晶体科技有限公司 西安理工晶体科技有限公司：TDR-100/TDR—120 型硅单晶炉 中国电子第 48 所：CZ800A/CZ900A 型单晶炉 江阴市华英光伏科技有限公司： 江阴市华英光伏科技有限公司：TDR85 单晶硅炉 TDR95 单晶硅炉宁夏日晶新能源装备股份有限公司： 宁夏日晶新能源装备股份有限公司：单晶炉 NXRJ-CZ8520/CZ9022/CZ9524 B/P 宁晋阳光半导体设备有限公司(晶龙集团) 宁晋阳光半导体设备有限公司(晶龙集团)： CZ-70/80/90/110A 单晶硅生长炉 上虞晶盛机电工程有限公司： 上虞晶盛机电工程有限公司：TDR80A/TDR85A/TDR95A/TDR112A 全自动晶体生长炉 德国普发拓普公司： 德国普发拓普公司：EKZ 2700/3500 单晶提拉炉 西安华德晶体设备(西安理工大学) 西安华德晶体设备(西安理工大学) ： 北京七星华创、宁夏晶阳、浙大 KAYEX、西安创联、无锡惠德晶体、江南电力等Add：扬州市北郊郭集工业园 Tel：0514-84242418 Fax：0514-84244418 Email：[email protected]扬州百盛新能源科技有限公司002 002、多晶铸锭炉北京京运通： 北京京运通：JZ-450 多晶硅铸锭炉 浙江精工： 浙江精工：JJL240 型多晶硅铸锭炉、JJL500 型多晶硅铸锭炉 上海汉虹 ：HXH-270/450 型多晶硅铸锭炉 北京京仪世纪： 北京京仪世纪：VB-450 型多晶铸锭炉 中国电子第 48 所：R13240-1/R13450-1/UM 型多晶硅铸锭炉 常州华盛天龙： 常州华盛天龙：DRZF450 多晶硅浇铸炉 上虞晶盛机电工程有限公司： 上虞晶盛机电工程有限公司：MCS450 型多晶铸锭炉 GT-Solar： 美国 GT-Solar： DSS240TM/DSS450TM/DSS450HPTM 多晶浇铸炉 新一代 DSS650TM 德国普发拓普公司： 德国普发拓普公司：VGF 632/732 Si 多晶硅铸锭炉 宁夏日晶新能源装备股份有限公司： 宁夏日晶新能源装备股份有限公司：多晶铸锭炉 NXRJ-MC500 B/P … …单 价 (元) 元总 价 (元) 元多晶铸锭用辅助设备 多晶铸锭用辅助设备 铸锭1 2 3 4 多晶硅锭吊装夹具 硅 锭 翻 转 台 多晶硅锭龙门式吊具 电动起重装置 BS-DSS450 型 起吊重量：1000KG BS-GT450 型 承重：1000KG BS-LMD2000 型 承重：2000KG BS-DDL2000 型 台 辆 套 台 多晶硅锭装夹用 多晶硅锭喷砂翻转用 横梁净跨度：2600mm 两侧立柱高度：3800mm 2T×6 米,附有电控箱、 手控 线开关、吊钩总成 1 套Add：扬州市北郊郭集工业园 Tel：0514-84242418 Fax：0514-84244418 Email：[email protected] 2扬州百盛新能源科技有限公司5 6 7 8 9 LED 数显电子吊秤 多晶硅锭平板运输车 （加强承载型,1000KG） 硅 料 烘 箱 不锈钢烘料(车)架 不锈钢烘料(车)架 BS-OCS1000 型 称重：1000KG BS-MGD1200 型 1000×750×650mm BS-GLT500 型/380V/21KW 配套烘箱/五层 配套烘箱/八层 台 辆 台 辆 辆 多晶硅锭称重用 不锈钢平板为向下折弯钣 焊，防止脱模时碰撞 外形尺寸：L×W×H= 2046×1193×2288mm 外形尺寸：L×W×H= 900×850×1500mm 外形尺寸：L×W×H= 900×850×1500mm SUS316L 不锈钢篮筐， 不带 PP 板，Φ8mm×50% SUS316L 不锈钢篮筐， 耐高温 PP 板,Φ8mm×50% SUS316L 不锈钢篮筐， 不带 PP 板，Φ8mm×50% SUS316L 不锈钢篮筐， 耐高温 PP 板,Φ8mm×50%40mm 高硅料滤篮 (烘料篮盘)配套烘料架/L×W×H= 800×400×40mm70mm 高硅料滤篮 (烘料篮盘)配套烘料架/L×W×H= 800×400×70mm BS-SYT100 型 380V/14KW/单工位 BS-SYT350 型 380V/42KW/三工位台 多晶石英坩埚通用 台多晶石英坩埚烘箱单晶拉制用辅助设备 单晶拉制用辅助设备13 14 15 16 17 18 19 单晶硅棒运输车 BS-GBY1618 型 硅棒横移放置架 不锈钢重锤 钼夹头 钼 爪 Φ53.5×L=520mm 京运通 80 定制 L×W×H=205×46×8mm M6×55mm BS-DGB800型 根 只 个 根 件 套 材质：不锈钢 带硅棒周边保护钼螺杆+钼螺丝 取大盖工具Add：扬州市北郊郭集工业园 Tel：0514-84242418 Fax：0514-84244418 Email：[email protected]扬州百盛新能源科技有限公司20 21 22 23 24 25 26 27 取保温筒扳手工具 取导流筒工具 取坩埚杆螺钉工具 取石墨螺栓工具 托 晶 架 热 场 推 车 拖 棒 车 石英坩埚喷涂烘箱 BS-BWG800型 BS-DLB800型 BS-GGG800型 BS-SMG800型 BS-TJ800型 BS-TC800型 BS-TBC800型 BS-SYT22 型 18 寸～22 寸 BS-SYT100 型 380V/14KW/单工位 BS-SYT350 型 380V/28KW/两工位 件 件 件 件 个 辆 辆 台 台 单晶 16～24 英寸坩埚通用 台 含旋转喷涂台单晶石英坩埚烘箱… … …Add：扬州市北郊郭集工业园 Tel：0514-84242418 Fax：0514-84244418 Email：[email protected]分享到: X分享到： 使用一键分享，轻松赚取财富值， 了解详情 嵌入播放器：普通尺寸(450*500pix)较大尺寸(630*500pix)预览复制 收藏此文档 免费 下载此文档大小：109.75KB所需财富值：0 登录百度文库，专享文档复制特权，财富值每天免费拿！现在登录 你可能喜欢 举报文档石英坩埚小结隐藏 石英坩埚小结一 石英坩埚的历史和现状1.早期石英坩埚 早期的石英坩埚是全部透明的，最早期的石英坩埚是全部的透明的结构，这种透 明的结构却容易引起导致不均匀的热传输条件，增加晶棒生长的困难度。

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所以这 种坩埚基本被淘汰使用。2.现代的石英坩埚 现代拉单晶的石英坩埚一般是采用电弧法生产，半透明状，是拉制大直径单晶 硅， 发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构， 外侧是一层具有高气泡密度的区域，称为气泡复合层，内侧则是一层 3~5mm 的 透明层，称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提 供的辐射热源。

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气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度，而改善 单晶生长的成功率及晶棒品质。国内石英坩埚的情况分析国内石英坩埚厂家有：锦州圣戈班、荆州菲利华、扬州华尔、宁波宝斯达、余姚通达、杭州大和等。锦州圣戈班、荆州菲利华、扬州华尔,他们的工艺采用真空熔融法，外几家采用 的是涂层法，即在坩埚内壁用精细石英砂喷涂到坩埚表面大约 1~2mm 左右。涂 的不均匀，这会造成在单晶生长过程中内壁脱落导致单晶生长失败。

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宁波宝斯达有一种涂钡锅，可应用到太阳能单晶用坩埚上。涂钡工艺也可用 人工进行， 但是人工涂钡的缺点在于在涂钡的同时引进多余的杂质且人工喷涂不 均匀，使得在开始拉晶的时候由于杂质过多或者单晶生长过程中内壁脱落，造成 放肩时断线，需提杂后才能进行继续拉晶。国产石英坩埚与进口石英坩埚对比尔汇科技有限公司~余姚市通达电器电信有限公司等。从这些公司公布的产品标准来看，跟国际标准(美国 GE 公司)相当。

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石英坩埚的主要指标包括三个方 面：几何尺寸；纯度、杂质含量；外观。几何尺寸体现了精加工水平，由于单晶 生产厂家的热场系统(主要是石墨坩埚)相对固定，因此石英坩埚的几何尺寸有统一要求。由于 GE 坩埚进入市场较早，所以我国产品几何尺寸一般沿用了 GE 的 标准。纯度、杂质含量标准，采用了石英砂原料生产厂家的标准，由于国产坩埚 都采用了进口原料，国内坩埚厂家的标准与国际标准一致。

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