石英坩埚的检测

[能源/化工]济宁祥润石英坩埚实验报告

江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 济宁祥润样品试验石英坩埚实验 实验报告 一、实验名称 济宁祥润样品试验石英坩埚在华盛天龙单晶95炉上的实验报告。二、实验目的 在Cz法单晶制备中石英坩埚作为熔硅载体有着其不可替代作用而石英坩埚品质的优劣直接决定着拉晶的效果 石英坩埚在高温下具有趋向变成SiO2晶体的趋势这个过程被成为“析晶”析晶对拉晶的效果具有明显的影响导致晶体难以成晶影响成品率 通过试用几只来检测该样品石英坩埚的性能看其拉制效果如何以便决定该样品石英坩埚是否小批量使用。三、实验步骤 1、单晶一部物料员到物控部门领取所采购的山东济宁祥润石英坩埚5只而后到现场投料炉料进行试用该埚拉制过程按正常的工艺进行。2、品质部门在装料前检查这5只坩埚的状况是否有较多的气泡、黑点、污迹是否能与石墨坩埚较好的匹配拉晶完毕后是否有析晶的现象。3、研发部门主导本次实验对拉住过程进行跟踪写出实验报告发送各部门。四、实验数据及图片 晶棒编号 SDJ81104054 SDJ81108056 SDJ81126046 SDJ81129047 SDJ81141038 坩埚编号 1109012204 1109012206 1109012202 1109012201 1109012205 装料情况 引晶次数 3 3 4 3 2 加热时间 76 67 81 70 61 拉制状况 引晶3次后进入正常等径到1327整棒收尾。

石英坩埚,江阴石英坩埚有限公司

四、实验数据及图片 晶棒编号 SDJ81104054 SDJ81108056 SDJ81126046 SDJ81129047 SDJ81141038 坩埚编号 1109012204 1109012206 1109012202 1109012201 1109012205 装料情况 引晶次数 3 3 4 3 2 加热时间 76 67 81 70 61 拉制状况 引晶3次后进入正常等径到1327整棒收尾。引晶3次后进入正常等径到1300整棒收尾。引晶4次后进入正常等径到1343整棒收尾。引晶3次进入正常等径到1368整棒收尾 引晶2次进入等径等径到1360断棱吊料 拆炉状况 坩埚无析晶无变形现象。坩埚无析晶无变形现象。

一种石英坩埚外形尺寸检测装置说明书下载

引晶3次进入正常等径到1368整棒收尾 引晶2次进入等径等径到1360断棱吊料 拆炉状况 坩埚无析晶无变形现象。坩埚无析晶无变形现象。

济宁祥润石英坩埚实验报告 - 豆丁网

成品率 87.55 86.64 89.93 89.70 72.55 平均成品率 85.27 以下分别是SDJ81104054、SDJ81108056、SDJ81141038这三炉拆炉后坩埚图片 江西旭阳雷迪高科技股份有限公司 济宁祥润样品试验石英坩埚实验 SDJ81104054 SDJ81141038 SDJ81108056 五、实验结论 这5个济宁祥润经过样品拉制拆炉后发现均无析晶、变形现象从成品率角度来看炉拉制的平均成品率为85.27为此我部建议9.6日投炉的济宁祥润石英坩埚还应小批量试用看其拉制效果。报告人胡荣星 2011.9.12 文档上传人：hvaqon1 文档格式：PDF 文档页数：2 下载积分：600 上传日期：2012-05-26 06:54:32 浏览次数：1 文档星级： 工艺流程 高纯石英砂 高纯石墨模具 真空装料成型 真空电弧熔制 自然冷却脱模 石英坩埚初步检测 冷加工喷砂、切断、倒角 石英坩埚二次检测 超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干 石英坩埚三次检验 真空包装 成品入库 生产技术 目前，国内石英坩埚生产企业生产中使用的生产设备及工艺技术全部源于上世纪70年代初锦州155厂从日本引进的生产设备及工艺技术，该项技术设备自动化程度不高，整个生产过程中更多的依靠人工来实现，现在国内新上的坩埚生产设备都已经往自动化发展。主要原料：采用高纯石英砂（单位：ppm） 1、辅料： ①石墨电极采用 76mm粗高纯电极棒 灰份： 80PPm 假比重：1.6g/cm 比电阻： 15 10 .cm 抗弯强度： 1.47 10Pa ②石墨模具 灰份： 200PPm 假比重：16g/cm 抗弯强度： 1.67 10Pa ③大尺寸石英遮热板 纯度：Al 200 Na 30 Li 30 Fe 30 K 30 本实用新型公开了一种石英坩埚外形尺寸检测装置，包括激光测微仪、激光位移传感器、机械手定位机构、传送带和PLC控制系统，其中：所述传送带用于传送石英坩埚；所述激光位移传感器固定在机械手定位机构，并用于测量石英坩埚的高度；所述激光测微仪，用于测量石英坩埚的外径、壁厚、弧厚和底厚；所述PLC控制系统分别接收激光位移传感器和激光测微仪的测量数据，并控制机械手定位机构进行定位，同时控制传送带输送下一个待测石英坩埚，控制激光位移传感器和激光测微仪进行测量。

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本实用新型具有以下优点：全部控通过PLC控制系统自动控制，具有更高效率和安全性，且具有精确的测量和定位精度。该技术受知识产权法保护，仅供研究，查阅是否侵权等。如果您需要商用，请联系权人支付许可费用。二、实验目的 在Cz 法单晶制备中，石英坩埚作为熔硅载体有着其不可替代作用，而石英坩埚品质的优劣直接决定着拉晶的效果； 石英坩埚在高温下具有趋向变成 SiO2 晶体的趋势，这个过程被成为“析晶”，析晶对拉晶的效果具有明显的影响，导致晶体难以成晶，影响成品率； 通过试用几只来检测该样品石英坩埚的性能，看其拉制效果如何，以便决定该样品石英坩埚是否小批量使用。

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三、实验步骤 1、单晶一部物料员到物控部门领取所采购的山东济宁祥润石英坩埚5 只，而后到现场投料炉料进行试用该埚，拉制过程按正常的工艺进行。2、品质部门在装料前检查这5 只坩埚的状况，是否有较多的气泡、黑点、污迹，是否能与石墨坩埚较好的匹配，拉晶完毕后是否有析晶的现象。3、研发部门主导本次实验，对拉住过程进行跟踪，写出实验报告，发送各部门。四、实验数据及图片 晶棒编号 SDJ81104054 SDJ81108056 SDJ81126046 SDJ81129047 SDJ81141038 坩埚编号 1109012204 1109012206 1109012202 1109012201 1109012205 装料情况 引晶次数 3 3 4 3 2 加热时间 76 67 81 70 61 拉制状况 引晶3 次后进入正常等径，到1327整棒收尾。

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